扫描电镜应用

Vic-2D SEM

技术背景 Technical Backgroud

扫描电镜(Scanning Electron Microscope，简称SEM)作为电子显微镜的一类，经过五十多年的发展已成为现代科学研究领域中不可或缺的重要工具之一。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，扫描电镜的分辨率可低于2nm，也就是说扫描电镜在光学显微镜的基础上放大了100倍。进一步拓展了人类从微观尺度认识和研究物质属性的能力。

近年来随着更多的可应用于扫描电镜真空腔内的原位加载和环境试验装置的普及，极大的促成了扫描电镜从微纳尺度的观察设备到试验/测量系统的升级。

而当我们试图使用SEM的图像数据做更准确的变形/位移场定量分析的时候，普遍存在的一个问题就是使用SEMs在高放大倍率下拍摄图像时，由于电子束漂移导致的图像几何失真，针对这一问题，CSI公司在Vic-2D中提供了修正这些漂移失真和噪声的功能。如下图所示，我们可以看到在图像变形校正前/后的X向最大主应变的极值相差有数倍之多，这意味着漂移造成的偏差甚至远远超过了试样本身实际的最大变形，极大的影响了我们在微观尺度对材料力学行为的理解和判断。

为解决高放大倍率下电子束漂移造成的非参数化的图像几何失真和噪声问题， VIC-2D SEM的整个修正的流程包括特定的漂移校正用参考图像采集、失真校正和试验图像采集、校正和数据分析的过程。总的流程分为：

· 获取特定的校正参考图像

· 使用Vic-2D完成失真校正

· 获取试验对象图像

· 使用Vic-2D分析获取失真校正后的试验数据结果

以下链接的PDF文档的详细介绍了在Vic-2D中如何校正SEM漂移和畸变的过程。 ZIP文件中包含失真校正数据的Demo以及图像序列。

The linked PDF details the procedure for correcting SEM drift and distortion in Vic-2D. The ZIP file contains a demo set of distortion correction data together with an image list.

更多关于VIC-2D SEM应用案例的技术资料，请联系我们：info@acqtec.com